集成電路產(chǎn)生廢氣的處理方法
1、酸性廢氣處理流程
集成電路工藝過程中產(chǎn)生的酸性氣體，經(jīng)過酸排氣配管至入口的靜壓箱，經(jīng)過洗滌塔至排放口的靜壓箱，除去了酸性物質(zhì)后，經(jīng)處理過的氣體經(jīng)過排氣風(fēng)機(jī)排放到大氣中。
洗滌塔有循環(huán)泵、循環(huán)水流量計(jì)、pH計(jì)、液位計(jì)等監(jiān)控系統(tǒng)，用氫氧化鈉作為中和的化學(xué)品，通過測定循環(huán)水的pH值來控制氫氧化鈉的注入泵開關(guān)。經(jīng)過排氣處理的處理水集中排放至工廠的廢水處理系統(tǒng)處理，達(dá)到工業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。通過循環(huán)泵將NaOH溶液加壓并不斷從噴嘴中以霧狀噴出，噴出的NaOH溶液和廢氣中的酸性物質(zhì)起中和反應(yīng)，從而達(dá)到凈化處理目的。
必要時(shí)，可以添加次氯酸鈉進(jìn)行循環(huán)水殺菌處理。處理裝置中的填料可以分散氣流和水流，增加接觸面積使酸性物質(zhì)與NaOH充分接觸，提高去除效率，此種處理裝置處理效率高，阻力小且比較穩(wěn)定，處理效率可達(dá)95%。
2、堿性廢氣處理方式
工藝過程中產(chǎn)生的堿性廢氣處理流程和酸性廢氣的流程類似，不過它是以硫酸作為中和用的化學(xué)品。集成電路生產(chǎn)中往往會產(chǎn)生大量的硫酸廢液，一般堿性廢氣用的硫酸以生產(chǎn)中排放的廢硫酸作為原料，這樣可以降低堿性廢氣處理成本。
3、有機(jī)廢氣處理流程
有機(jī)廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是利用有機(jī)氣體水溶性的特性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機(jī)廢氣中的有機(jī)氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應(yīng)用。
生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質(zhì)。生物處理法運(yùn)行費(fèi)用低，二次污染小，但處理?xiàng)l件嚴(yán)、持續(xù)時(shí)間長，占地面積大，故實(shí)際應(yīng)用較少。
焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機(jī)廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750℃～850℃的焚燒化與350℃～450℃的催化燃燒二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。
吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機(jī)氣體分子分離，而凈化有機(jī)廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機(jī)廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。
